广东万濠精密仪器股份有限公司
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特点：
测量型金相显微镜是一种兼顾影像、目视与纳米高度测量多用的高精度、高效率测量仪器。该产品具有电视成像与目视光学两套瞄准系统，可人工观察金属表面的金相组织结构，是集光、机、电、算、影像于一体的显微镜。该产品以二维测量为主，也可作三维辅助测量，广泛应用于电子组件、精密模具、塑料、PCB加工方面、镀膜厚度、手机玻璃等工业领域。
特点：
1. X、Y、Z三轴0.5μm分辨力
2. 电动Z轴分辨力0.1μm
3. 具有高度自动测量
4. 内建偏光测量光学�？�
5. 高速/无接触测量
6. 同轴光/底光测量
7. 可搭配白光纳米检测�？椴饬磕擅准逗穸�
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型号 |
MTM-3020MA | ||||
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工作台 |
金属台尺寸(mm) |
500 x 330 | |||
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玻璃台尺寸(mm) |
350 x 250 | ||||
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X、Y轴运动行程(mm) |
300 x 200 | ||||
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手动Z轴行程(mm) |
120 | ||||
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自动Z轴行程(mm) |
2 | ||||
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外形尺寸(mm) |
825 x 660 x 910 | ||||
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仪器重量(kg) |
130 | ||||
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X、Y、Z轴分辨力(μm) |
0.5 | ||||
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自动Z轴分辨力(μm) |
0.1 | ||||
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示值误差(μm) |
E1XY=( 2.5+ L/100) μm (L为测量长度，单位mm) | ||||
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物镜放大倍数误差 |
包括畸变在内的放大率误差≦0.08% | ||||
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落射照明光源 |
可调高亮度卤素灯 | ||||
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底光照明光源 |
可调高亮度LED灯源 | ||||
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目视系统 |
影像系统 | ||||
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物镜放大倍数 |
5X、10X、20X、50X |
5X、10X、20X、50X；10X Mirau物镜 | |||
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目镜放大倍数 |
10X双镜筒 |
1/2”CCD摄像机 | |||
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视频总倍率 |
50X ~500X |
142.5X ~1425X (19.5”显示器，分辨率1440 x 900) | |||
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单层透明膜厚度测量模组 | |||||
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高精度测量模式 |
快速测量模式 | ||||
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厚度测量范围 |
100nm ~300nm |
300nm ~500nm |
500nm ~3μm |
3μm ~20μm | |
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分辨力 |
5nm |
5nm |
7.5nm |
0.1μm | |
